一级发文领域
电子电信
发文量: 4211
被引量: 3831
经济管理
发文量: 1325
被引量: 89
自动化与计算机技术
发文量: 670
被引量: 391
电气工程
发文量: 286
被引量: 349
机械工程
发文量: 239
被引量: 156
金属学及工艺
发文量: 166
被引量: 200
化学工程
发文量: 131
被引量: 65
一般工业技术
发文量: 111
被引量: 80
轻工技术与工程
发文量: 83
被引量: 47
二级发文领域
电子电信 / 物理电子学
发文量: 2260
被引量: 2512
经济管理 / 产业经济
发文量: 1070
被引量: 80
电子电信 / 微电子学与固体电子学
发文量: 890
被引量: 639
电子电信 / 电路与系统
发文量: 490
被引量: 569
自动化与计算机技术 / 计算机科学与技术
发文量: 459
被引量: 146
电子电信 / 信息与通信工程
发文量: 435
被引量: 104
自动化与计算机技术 / 计算机系统结构
发文量: 243
被引量: 26
电子电信 / 通信与信息系统
发文量: 217
被引量: 16
自动化与计算机技术 / 控制科学与工程
发文量: 208
被引量: 242
主要发文机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体；光刻；晶圆；电机；抛光
发文量：646
中国电子科技集团公司第二研究所
发文主题：真空；电池；低温共烧陶瓷；太阳能；封装
发文量：229
中国电子科技集团公司第四十八研究所
发文主题：电池；太阳能电池；太阳能；均匀性；离子注入
发文量：168
中国电子科技集团公司第四十六研究所
发文主题：单晶；硅单晶；硅片；晶片；区熔
发文量：118
电子工业部
发文主题：半导体；光刻；曝光机；切片；切片机
发文量：115
北京中电科电子装备有限公司
发文主题：晶圆；划片；划片机；键合；封装
发文量：92
中华人民共和国工业和信息化部
发文主题：光刻；电路；电子专用设备；集成电路；半导体
发文量：75
中国电子科技集团公司
发文主题：电路；集成电路；化学机械抛光；机械抛光；晶片
发文量：68
中国电子科技集团第十三研究所
发文主题：光刻；刻蚀；激光；光刻机；投影光刻
发文量：66
主要发文主题
半导体
发文学者：翁寿松；童志义；谢中生；程开富；柳滨
发文量：1260
电路
发文学者：鲜飞；李庆祥；薛实福；李习周；唐德兴
发文量：448
封装
发文学者：童志义；杨建生；鲜飞；王春青；贾松良
发文量：436
芯片
发文学者：翁寿松；侯一雪；鲜飞；曹国斌；王仲康
发文量：362
集成电路
发文学者：李庆祥；薛实福；李习周；唐德兴；鲜飞
发文量：349
晶圆
发文学者：胡晓霞；翁寿松；周国安；谭立杰；高津平
发文量：345
光刻
发文学者：童志义；胡松；翁寿松；李毅杰；张文雅
发文量：315
半导体设备
发文学者：翁寿松；尚美杰；赵立华；张世恩；童志义
发文量：260
太阳能
发文学者：贾京英；唐超凡；王娟；陈特超；颜秀文
发文量：171